晶盛机电(300316):发布8英寸单片式碳化硅外延设备 技术突破迎新进展

2023-06-28 20:10:08 和讯  东吴证券周尔双/刘晓旭/李文意
  事件:6月27 日, 公司微信公众号发布推文,公司成功研发8英寸单片式碳化硅外延设备。
  投资要点
  成功发布8 寸单片式碳化硅外延设备,可兼容6&8 寸碳化硅外延:此前2 月晶盛机电已成功发布了6 寸双片式碳化硅外延设备(型号为150D,产能600-650 片),不到半年,再次成功推出8 寸单片式碳化硅外延生长设备。(1)兼容6&8 寸:8 寸设备基于6 寸的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的8 英寸碳化硅外延工艺,相比于6 寸,8 寸碳化硅晶圆未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。(2)技术指标处于行业领先:目前晶盛机电在子公司晶瑞的8 英寸衬底基础上,已实现8 英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内,未来外延设备迭代方向将从单片到多片(单腔多片式或单片多腔式),增加单位产能、降低生产成本。
  外延设备已成功实现国产替代,晶盛机电为国内龙头设备商:以往碳化硅外延设备主要由意大利的LPE 公司、德国AIXTRON 公司以及日本Nuflare 公司所垄断,但国外龙头的产能严重不足,Nuflare 产能基本供给美国,LPE 年产能约30 台,产能较为有限,AIXTRON 由于设备稳定性问题目前未完全进入国内供应链。出于海外厂商产能瓶颈问题,晶盛机电6 寸单片式碳化硅外延设备(型号为150A,产能350-400 片)已实现国产替代。
  碳化硅衬底片+外延设备双轮驱动,打开公司新成长曲线:公司2017 年开始碳化硅布局,目前已实现6 英寸晶体和晶片量产,通过了部分客户的送样和验证。2020 年立项8 寸衬底片研发,经过一年的研发,成功生长出行业领先的8 英寸N 型碳化硅晶体,完成了6 英寸到8 英寸的扩径和质量迭代,23Q2 将实现小批量生产。此次8 英寸外延设备的成功研发,实现了晶盛机电在8 寸碳化硅材料端+设备端的布局,进一步巩固公司在第三代半导体设备领域的龙头地位。
  盈利预测与投资评级:光伏设备是晶盛机电的第一曲线,第二曲线是半导体设备放量,第三曲线是光伏耗材和半导体耗材的完全放量,我们维持公司2023-2025 年的归母净利润为47/58/70 亿元,对应PE 为19/16/13倍,维持“买入”评级。
  风险提示:新品拓展不及预期,研发进展不及预期。
【免责声明】本文仅代表第三方观点,不代表和讯网立场。投资者据此操作,风险请自担。
(责任编辑:王丹 )

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