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天准科技(688003.SH)：参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用

2023-09-12 09:14:57 格隆汇

格隆汇9月12日丨天准科技(688003)(688003.SH)9月12日在互动平台回复称，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。

（责任编辑：董萍萍）

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