半导体设备国产替代趋势月度跟踪：8月产线招标环比持续增长 国产中标稳步突破

　　核心观点：
　　8 月合计500 项招标，以华虹、积塔、粤芯为主，招标设备主要包括扩散、探针台、量测设备等品类。2023 年8 月，统计样本中的晶圆产线合计产生500 项招标。以华虹半导体、积塔半导体、粤芯半导体等产线招标为主。招标设备主要包括扩散、探针台、量测设备，主要为华虹半导体、燕东微电子招标。此外，基建项目主要为粤芯半导体、中芯国际、积塔半导体招标。2023 年1-8 月，统计样本中的晶圆产线合计招标969 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设备招标以扩散、刻蚀、探针台设备为主。
　　8 月合计44 项中标，以扩散、刻蚀、氧化设备居多，国产设备整体中标比例约55%，氧化、扩散、刻蚀设备的国产中标比例显著。中标方面，2023 年8 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标44 台设备，以扩散、刻蚀、氧化设备居多；国产设备整体中标比例约55%，其中，氧化、扩散、刻蚀设备的国产中标比例显著。2023 年1-8 月，统计样本中的晶圆产线合计中标270 台设备，以气液系统、刻蚀、量测设备居多；国产设备整体中标比例约50%，其中，沉积、PECVD、外延、检测、氧化设备的国产中标比例较高。
　　8 月统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标24 台设备，以北方华创、中微公司中标为主，在对应工艺环节的中标比例为60%。2023 年8 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标24 台设备，以北方华创、中微公司中标为主，在对应工艺环节的中标比例为60%。其中，北方华创中标22 台设备，主要包括扩散、刻蚀、氧化设备，在对应工艺环节的中标比例分别为50%、44%、100%。中微公司中标2 台刻蚀设备，对应工艺环节的中标比例为13%。在2023 年1-8 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标96 台设备，北方华创、万业企业中标量领先。2023 年1-8 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为41%。其中，北方华创的外延、氧化设备、拓荆科技的PECVD 设备在对应工艺环节的中标比例领先。
　　投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。
　　（带*标的为与广发机械联合覆盖）
　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。
【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

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