根据韩国媒体The Elec 报道,由于原材料和劳动力成本上升,DongwooFine-Chem 通知客户,准备提高KrF 和I-line 光刻胶价格,提价范围依产品而定,约为10~20%。Dongwoo Finechem 是日本住友化学位于韩国的100%控股子公司,公司表示涨价原因是单体和树脂等光刻胶原材料成本上升。
存储堆叠层数增加,KrF 市场规模快速增长。光刻胶是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X 射线等光照或辐射后,溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路、面板及PCB 的精细图形加工制造。根据 SEMI,2022 年全球半导体光刻胶市场规模 26.4亿美金,TECHCET 预计2022-2027 年市场规模复合增速4.9%,2027 年市场规模超30 亿美金。其中分产品来看,ArF 及ArFi 主要用于制程节点更先进的芯片层,合计市场规模略大于KrF 光刻胶。2021 年KrF 光刻胶市场规模约占36%,受3D NAND 堆叠层数增加驱动,KrF 市场规模快速增长。
树脂是光刻胶重要原材料。光刻胶主要由成膜树脂、光敏物质、溶剂和助剂等组成。其中成膜树脂是光刻胶的主要成分。随着制程的提升、曝光波长的缩小、光源强度降低,光刻胶中树脂、感光剂等体系提出更高要求,成本不断提升,对光刻胶的性能有重要影响。
海外厂商垄断市场,国产厂商从0 到1 突破。根据TECHCET,2020 年全球光刻胶市场中TOK(23%)、JSR(21%)、杜邦(16%)、住友化学(15%)、信越化学(10%)合计占据全球85%的市场。
1)彤程新材首批ArF 光刻胶各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,并已具备量产能力,目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段。公司2023H1 半导体光刻胶营收 8258 万元,其中KrF 光刻胶同比增速52.6%,I线光刻胶中ICA 光刻胶开始放量,增速达96.8%。目前公司KrF 量产品种达20 种以上,已持续稳定供应国内头部芯片制造商,I 线光刻胶品类持续完善高端品种,目前产品已支持的工艺制程涵盖14nm 及以上工艺。
在树脂方面,彤程新材KrF 光刻胶用多个PHS 树脂已经完成在放大装置上运行。其中通用型KrF 光刻胶主体树脂通过配方验证,相应的通用型KrF 光刻胶正在Fab 厂验证阶段,验证结果良好。开发和放大高分辨型KrF 光刻胶主体树脂,相应的高分辨型KrF 光刻胶正在下游Fab 厂小批量验证。
2)华懋科技重要参股公司徐州博康2022 年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节持续突破,多款高端光刻胶产品获得国内12 英寸晶圆厂的相关订单,包括ArFi、ArF-dry,KrF,I-line 等。其中ArFim 产品已用于28-45nm 制程。同时公司亦持续研发光刻胶树脂、单体及光敏剂材料,开拓上游产业链。
3)晶瑞电材光刻胶产品由子公司瑞红苏州生产。瑞红苏州i 线光刻胶产品规模化向中芯国际、合肥长鑫、华虹半导体等国内知名半导体企业供货;KrF高端光刻胶部分品种已量产;ArF 高端光刻胶研发工作已启动。
风险提示:新产品验证进展不及预期,中美贸易摩擦,行业竞争加剧
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(责任编辑:王丹 )
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