华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖

2024-06-24 16:39:00 和讯

快讯摘要

【华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖】证券时报e公司讯，华海清科(688120)6月24日晚间公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技...

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快讯正文

【华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖】证券时报e公司讯，华海清科(688120)6月24日晚间公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。

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（责任编辑：周文凯）

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