【光刻机概念继续活跃凯美特气、海立股份涨停】证券时报e公司讯，光刻机概念继续活跃，截至发稿，凯美特气、海立股份涨停，同飞股份、波长光电、高盟新材、张江高科等涨幅居前。
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