阿斯麦总裁称光刻机投资在晶圆厂投资占比强劲，本季度发运首台TWINSCAN EXE:5200B系统 。
【阿斯麦发运首台EXE:5200B High NA光刻机】 阿斯麦(ASML.O)总裁兼傅恪礼称，光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占比重持续强劲，在DRAM领域表现尤其明显，TWINSCAN NXE:3800E的推出进一步巩固了这一趋势。同时，EUV光刻机的应用正按计划推进，包括高数值孔径系统。本季度，阿斯麦发运了首台TWINSCAN EXE:5200B系统。
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