至纯科技(603690)：布局IC先进装备、零件及光伏设备21亿新产能

　　投资要点：
　　公告：2022 年度非公开发行A 股股票预案，拟募资不超过18 亿元，其中12.6 亿元用于3 个主营项目，占比70%；5.4 亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款。单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目和江苏启东半导体装备产业化基地二期项目预计收入分别为7.2 亿/4.8 亿/12.1 亿元，合计销售额24.1 亿元。
　　半导体湿法制程设备新增订单快速增长，湿法设备订单中高阶设备占比6 成，积累行业优质客户。2019-2021 年及2022 前三季，新增订单分别为14.2/19.6/32.3/36.2 亿元；湿法设备板块，公司2015 年起研发，2019-2021 年湿法设备新增订单分别为1.7/5.3/11.2亿元，积累了中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等集成电路领域的一线客户群。2021 年，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，在14nm以下制程也拿到4 台湿法设备订单。
　　目前湿法制程设备产能扩至150 台，“单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目”
　　和“至纯北方半导体研发项目”强化湿法设备及零部件先进制程能力及产能。单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发及产业化。该项目将成为公司高阶制程单片湿法装备及零部件研发与产业化基地，形成高阶制程单片湿法模块年产100 套，各类零部件年产近2000 套。至纯北方半导体研发生产中心项目预计将实现年产系统集成及支持设备30 套、半导体湿法设备15 台、半导体零部件2,610 套的生产能力。
　　“启东半导体装备产业化基地二期项目”研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，布局新品类及新应用领域。项目投资额8 亿，将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50 套，光伏工艺设备120 套，面板制程设备10套，系统集成及工艺设备逾3 千套，配套零部件逾3 万套的生产规模，预计可实现年收入12.1 亿元。公司在炉管、涂胶显影等半导体设备产品及技术研发的过程中，实现了在传送系统、电控系统、射频系统、腔体结构及尾气处理系统等核心工艺的积累和掌握。
　　立足高纯工艺系统布局半导体湿法工艺设备及晶圆再生，半导体业务战略三位一体。2021年以来合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，合肥布局晶圆再生及部件清洗项目是国内首条投产的12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线，年产168万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。已形成设备、材料、工艺三位一体。
　　上调盈利预测，维持“买入”评级。公司预计2022 年扣非后净利润位于3-3.3 亿元，由于公司在光伏等新领域取得新突破，将2022/23/24 年归母净利润预测从3.30/4.52/5.38亿元上调至3.30/5.01/6.45 亿元，2023PE 27X，维持买入评级。
　　风险提示：清洗设备订单不及预期；新产能不及预期；投资失败或亏损风险。
【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

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