汉钟精机：公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用：汉钟精机（002158）在最新披露的投资者关系活动记录表中表示，公司氢能源用空压泵目前还在研发、验证阶段。公司半导体真...
汉钟精机：公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用：汉钟精机（002158）在最新披露的投资者关系活动记录表中表示，公司氢能源用空压泵目前还在研发、验证阶段。公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用，具体运用于LL、去胶、刻蚀、PVD、CVD等制程。目前多用于相对洁净的制程。
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