荷兰提议限制浸没式DUV光刻机出口阿斯麦回应:只适用于“最先进的”系统:据荷兰外贸部长周三给立法者的信函,荷兰政府拟提议限制浸没式DUV光刻机的出口,该提议预计将在夏季之前公布。阿斯麦对...
荷兰提议限制浸没式DUV光刻机出口阿斯麦回应:只适用于“最先进的”系统:据荷兰外贸部长周三给立法者的信函,荷兰政府拟提议限制浸没式DUV光刻机的出口,该提议预计将在夏季之前公布。阿斯麦对此回应,“额外的出口管制并不涉及所有的浸没式光刻机,而只适用于‘最先进的’系统。”由于没有收到明确定义,阿斯麦将“最先进的”解读为“TWINSCANNXT:2000i及后续的系统。”
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