天准科技(688003.SH):Muetec的掩膜检测设备已可以覆盖65-90nm工艺,目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度

2023-05-29 16:37:17 格隆汇 

格隆汇5月29日丨有投资者在投资者互动平台向天准科技(688003)(688003.SH)提问,“日本对euv掩膜版设备进行了限制,MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代”

公司回复称,Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺,目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

(责任编辑:董萍萍 )
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