格隆汇11月16日丨有投资者在投资者互动平台向燕东微(688172.SH)提问,“贵公司的战略核心是不断强化晶圆制造能力和技术创新能力,可否介绍一下贵公司的晶圆制造工艺?另外现阶段晶圆6英寸和8英寸线年产量多少片?12英寸线现在产能如何”
公司表示,公司6英寸晶圆生产线已建成平面MOS、平面IGBT、BJT、TVS、JFET、SBD、FRD、模拟IC等工艺平台,8英寸晶圆生产线制造能力覆盖90nm及以上工艺节点,已建成沟槽MOSFET、平面MOSFET、沟槽IGBT、CMOS、BCD、MEMS等工艺平台,正在开发硅基光电子、红外传感器、RFCMOS等工艺平台。6英寸晶圆产能达到6.5万片/月,8英寸晶圆产能达到5万片/月,12英寸已实现试生产,规划产能为4万片/月。
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