英诺激光：关注国内半导体行业发展趋势已在硅晶圆前道检测环节开展合作证券时报e公司讯，近日，有投资者通过互动易平台向英诺激光(301021)提问，看到上海微电子官微发布，上海微电子28nm精度光...
英诺激光：关注国内半导体行业发展趋势已在硅晶圆前道检测环节开展合作证券时报e公司讯，近日，有投资者通过互动易平台向英诺激光(301021)提问，看到上海微电子官微发布，上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证，并在光源技术方面与英诺激光展开合作，是否属实？对此，英诺激光回复，公司在半导体领域与国外客户开展了深度合作，并已批量供应了应用于碳化硅退火制程的激光器，积累了丰富的行业经验。英诺激光时刻关注国内半导体行业发展趋势，已在硅晶圆前道检测环节开展合作。
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