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北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机

2024-03-15 11:16:00 和讯

快讯摘要

北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机证券时报e公司讯，近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura节点中以AIOt并可扩展到存储领域的CMOS用于Low-K（低介电...

快讯正文

北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机证券时报e公司讯，近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura节点中以AIOt并可扩展到存储领域的CMOS用于Low-K（低介电常数）介质及常规介质材料的刻蚀工艺。

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（责任编辑：贺翀）

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