北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机证券时报e公司讯，近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura节点中以AIOt并可扩展到存储领域的CMOS用于Low-K（低介电...
北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机证券时报e公司讯，近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura节点中以AIOt并可扩展到存储领域的CMOS用于Low-K（低介电常数）介质及常规介质材料的刻蚀工艺。
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