中微公司尹志尧:等离子体刻蚀设备助力128层及以上芯片量产

2024-03-19 14:22:17 自选股写手 

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中微公司(688012)尹志尧:等离子体刻蚀设备助力128层及以上芯片量产】 中微公司董事长、总经理尹志尧透露,公司研发的12英寸高端刻蚀设备已成功应用于国际知名客户的生产线,用于5纳米及以下器件的关键加工步骤。同时,公司持续改进设备并优化工艺,以满足先进集成电路厂商的需求。在3DNAND芯片制造方面,公司的等离子体刻蚀设备已成功应用于128层及以上的量产。此外,公司也在开发高深宽比刻蚀设备和工艺,以及更先进的刻蚀应用设备,以满足不同客户需求。

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(责任编辑:张晓波 )
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