三星与SK海力士推进氖气回收技术，提高资源利用效率

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【韩国半导体产业巨头纷纷开启氖气回收计划，回收率超70%】 韩国半导体产业正加速推进可持续发展战略，其中三星电子和SK海力士等巨头纷纷开展氖气回收技术研究，旨在降低成本、减轻供应风险。SK海力士近日与韩国气体供应商TEMC展开合作，在氖气回收方面取得显著成果。与此同时，三星电子也计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺中。 氖气在半导体光刻过程中发挥着关键作用，通过激发激光来实现微细加工。通过回收废气，SK海力士与TEMC成功实现了72.7%的氖气回收率，并计划进一步提高至77%。这一技术的推广将有助于降低半导体制造成本，提高资源利用效率，为韩国半导体产业的可持续发展提供有力支持。