晶瑞电材称拥有 5 台光刻机用于光刻胶研发及量产，分别对应不同产品。
【晶瑞电材在互动平台透露，公司拥有 5 台光刻机用于光刻胶研发生产】6 月 3 日，有投资者询问晶瑞电材公司目前拥有几台光刻机用于研发生产芯片上游材料光刻胶。晶瑞电材在互动平台表示，公司共拥有 5 台相关设备及其配套设备，分别用于紫外宽谱、g 线、i 线、KrF 和 ArF 产品的研发以及量产
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