三星电子旗下 Semes 公司去年已供货第一台“OmegaPrime”设备，目前正制造第二台，并开发了支持新型光刻机的 ArF 版本。
【三星电子旗下 Semes 已制造出 KrF 光刻涂胶/显影设备，并开发 ArF 版本】
6 月 26 日，三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司透露，第一台名为“OmegaPrime”的设备已于去年供货，Semes 正在制造第二台设备。
目前，Semes 已成功制造出 KrF 光刻涂胶/显影设备，并在此基础上开发了 ArF 版本，以支持波长更短的新型光刻机。
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