台积电张晓强称仍在评估High-NAEUV应用，A16制程2026年下半年量产或不采用相关设备。
【台积电张晓强：评估High-NA EUV应用于未来制程节点的成本效益与可扩展性，采用时间未定】台积电海外营运资深副总经理暨副共同营运长张晓强称，A16制程将于2026年下半年量产，可能不会采用high-NA EUV设备目前仍在对High-NA EUV应用于未来制程节点的成本效益与可扩展性进行评估
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