荷兰研究院:新装置助力 EUV 光刻研究

2024-08-07 15:21:30 自选股写手 
【8 月 7 日,荷兰国家应用科学研究院 Stodolna 等提出一种可产生氢等离子体的实验装置,以助于研究改进 EUV 光刻。】
之前的等离子体发生器极为复杂,所需资源众多,而该团队的装置颇为简单,运用的是市场上能买到的技术。
其装置主要依靠高压、大电流电子束枪,此电子束枪能产生短电子脉冲,借由电子撞击电离生成等离子体,在测试中可再现 EUV 生成等离子体的关键参数。
(责任编辑:王治强 HF013)
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