【9 月 3 日消息，三星正在对 Tokyo Electron的 Acrevia GCB 气体团簇光束系统进行测试。】TEL 的 Acrevia GCB 系统于今年 7 月发布，其能够通过气体团簇光束对 EUV 光刻图案进行局部精确整形。该系统可修复图案缺陷、降低图案粗糙度。
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董萍萍 08-29 09:21
董萍萍 08-29 08:54
刘畅 08-26 16:03
董萍萍 08-26 12:03
董萍萍 08-26 11:33
王治强 08-19 11:21
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