张江高科：集成电路装备新目录发布，氟化氩GKJ光源193纳米分辨率≤65nm

【张江高科、同飞股份、海立股份竞价涨停】 9月18日，张江高科、同飞股份、海立股份在竞价阶段均触及涨停板。同时，富乐德、蓝英装备涨幅超过10%，东方嘉盛、国林科技、京华激光、凯美特气、波长光电等股票涨幅也超过5%。 消息面上，工信部近日发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。在电子专用装备目录中，集成电路生产装备被重点提及，其中包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm等关键技术。

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