英诺激光:在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术

2024-10-21 16:18:04 同花顺
新闻摘要
同花顺金融研究中心10月21日讯,有投资者向英诺激光提问,领导您好,公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗,能不能运用到光刻机,谢谢。公司回答表示,尊敬的投资者,您好。感谢您的关注

同花顺(300033)金融研究中心10月21日讯,有投资者向英诺激光(301021)提问, 领导您好,公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗,能不能运用到光刻机,谢谢。

公司回答表示,尊敬的投资者,您好!在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的关注!

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(责任编辑:王治强 HF013)

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