【盛美上海：等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证】证券时报e公司讯，盛美半导体设备（上海）股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的UltraFnA等离子增强型原子层沉积炉管设备（PEA...
【盛美上海：等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证】证券时报e公司讯，盛美半导体设备（上海）股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的UltraFnA等离子增强型原子层沉积炉管设备（PEALD）已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证，正在进行最后优化和为迈入量产做准备。盛美上海还宣布，其于2022年推出的UltraFnA热原子层沉积炉设备（ThermalALD）也已成功通过另一家领先的中国大陆客户的工艺验证，性能参数比肩同类国际竞品，甚至更胜一筹。
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