哈工大科研团队提出二维铁电材料超分辨微纳结构图案化制造新方法,成果登《自然通讯》,具重要产业意义
【哈工大科研团队实现二维铁电材料超分辨微纳结构图案化可控制造】 近日,哈尔滨工业大学机电工程学院杨立军教授、丁烨副教授团队与材料科学与工程学院李洋教授团队提出一种新方法。该方法可在空气中利用远场飞秒激光刻蚀技术,在二维铁电材料上直写超分辨纳米沟槽阵列结构。 相关研究成果发表于《自然通讯》。此研究突破了纳米结构激光制备的分辨率瓶颈,对创新功能架构构建、电子器件集成及纳米光子学发展意义重大。
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