中微公司：首台金属刻蚀设备付运，2024年研发投入增94.3%

【中微公司刻蚀设备迎里程碑，首台Primo Menova?付运】 近日，中微公司刻蚀设备系列再获突破，其Primo Menova? 12寸金属刻蚀设备全球首台机，顺利付运国内一家重要集成电路研发设计及制造服务商。 中微公司资深副总裁丛海称，公司开发的刻蚀设备性能、稳定性达标，可覆盖多数国内刻蚀应用需求。公司践行“五个十大”，贯穿产品开发原则，坚持创新与知识产权保护。未来将深化与客户合作，提供优质产品，实现共赢。 据悉，Primo Menova?专注金属刻蚀，擅长Al线、Al块刻蚀，用于功率半导体等制造，是晶圆厂金属化主要设备。它基于Primo Nanova?研发，有优异刻蚀均一性，搭配清洁工艺，集成除胶腔室，可灵活搭配满足客户需求。 定期报告显示，中微等离子体刻蚀设备应用于国际一线客户先进生产线。CCP和ICP刻蚀机覆盖超95%国内刻蚀需求。截至2024年底，超6000台设备反应台在137条生产线量产销售。 研发上，公司加大力度，在研项目超二十款新设备。2024年研发投入24.5亿元，较2023年增94.3%，占营收约27%，高于科创板平均。 此外，公司研发加速。董事长尹志尧称，现18个月到2年完成新品研发，半年到一年量产入市，研发产品数量增加。

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