9月17日消息,中芯国际正测试宇量昇深紫外光刻机,采用浸没式技术,试验结果鼓舞但用于量产时间未知
【9月17日消息,中芯国际测试宇量昇深紫外光刻机】 据悉,中芯国际正在测试上海初创公司宇量昇制造的深紫外光刻机。这款机器采用浸没式技术,与阿斯麦所用技术类似。 ,虽中芯国际的试验初步结果令人鼓舞,但尚不清楚该机器能否以及何时用于大规模芯片生产。
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