10月23日微导纳米互动平台透露,其坚持创新,是多类半导体设备国产先驱,助力国内产业发展。
【微导纳米互动平台透露多项产业领先成果】10月23日,微导纳米在互动平台称,自成立以来,公司坚持自主创新,助力国内半导体产业发展。该公司是国内首家把量产型High - k原子层沉积设备用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,也是国内首批开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备(CVD)国产厂商,还是率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。
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