珂玛科技：12英寸静电卡盘已小量产，多区款待验证

2025-11-12 12:43:45 自选股写手

快讯摘要

11 月 12 日珂玛科技称，先进陶瓷用于晶圆前道工艺设备，12 英寸静电卡盘量产，多区加热款正推进验证

【珂玛科技先进陶瓷应用拓展，12英寸静电卡盘已小规模量产】 11月12日，珂玛科技在互动平台透露，公司先进陶瓷主要用于晶圆制造前道工艺设备，已进入刻蚀、薄膜沉积等多种设备。截至目前，其12英寸静电卡盘已完成验证，实现小规模量产。12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发，公司正积极推进验证进程。

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（责任编辑：王治强 HF013 ）

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