11月13日艾森股份发布记录表,其KrF光刻胶AR>13,用于存储芯片等,将在头部晶圆厂上线测试
【11月13日艾森股份发布投资者关系活动记录表】 艾森股份于11月13日发布投资者关系活动记录表。 目前公司KrF光刻胶AR(深宽比)>13,主要用于CIS isolation等高深宽比结构,涵盖存储芯片相应结构,下一步将在头部晶圆厂上线测试。
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