11月22日消息，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备GINKGO IFM - P300出货HBM，打破国外垄断，实现重大突破
【11月22日中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货HBM】 近日，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备GINKGO IFM - P300出货HBM。 该设备的推出意义重大，标志着我国在该领域实现重大突破，打破国外厂商长期垄断。 它还突破国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测限制，支持键合后晶圆、化合物半导体衬底全参数检测。
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