12月15日阿斯麦称High - NAEUV光刻改进方案验证通过，正完善成熟度，预计2027 - 2028年量产，明年稳定运行。
【阿斯麦High - NAEUV光刻改进方案验证，有望2027 - 2028年量产】 12月15日，阿斯麦克里斯托夫·富凯透露，公司为High - NAEUV设计的光刻改进方案已获验证，成像效果佳，分辨率出色。目前，公司正和客户合作，完善该光刻系统成熟度。 阿斯麦将与客户紧密配合，确保High - NAEUV明年实现停机时间最低的稳定运行。富凯预计，High - NAEUV会在2027至2028年间大规模量产。
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