12月24日消息，晶盛机电12英寸碳化硅外延设备交付瀚天天成，技术先进，提升颗粒控制与维护效率 。
【12月24日晶盛机电碳化硅核心装备取得重大突破】 近日，晶盛机电在碳化硅核心装备领域取得重大进展，其12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部SiC外延晶片生产商瀚天天成。 此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延生产。它采用独创的垂直分流进气方案，实现了晶圆表面温度高精度闭环控制、工艺气体精确分区控制等技术。 此外，设备配备自动化上/下料模块及一键自动PM辅助功能，大幅提升了颗粒控制能力和维护效率。
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