历经十余载发展风雨兼程,恒运昌历经三个发展阶段,成为国内领先的等离子体射频电源公司
公司于2013 年成立,先后经历了起步探索期(2013-2017 年)、快速发展期(2018-2022 年)、持续创新期(2023-至今)。起步探索阶段,公司自主开发出等离子体射频电源的大功率实时等离子体阻抗测量技术等核心技术,为公司半导体级等离子体射频电源及匹配器的研发、生产和销售奠定了扎实的技术基础。
快速发展阶段(2018-2022 年),公司自研产品在半导体领域的应用取得重大突破,研制出Bestda 系列等离子体射频电源系统,可应用于28 纳米制程晶圆制造。
持续创新阶段(2023-至今),公司突破了先进制程的技术难题,研发出Aspen/Basalt 系列等离子体射频电源系统,可支持7-14 纳米制程晶圆制造设备。
营收方面,2022 年、2023 年、2024 年和2025 年1-6 月,公司自研产品中等离子体射频电源系统收入分别为9,879.50 万元、21,640.56 万元、42,561.95 万元及23,272.97 万元,呈快速增长趋势,分别占比营业收入的94.62%,90.50%,93.32%和90.25%。等离子体射频电源系统包括等离子体射频电源和匹配器。
公司持续积累等离子体射频电源关键技术,持续拓展半导体设备和晶圆厂客户
公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商,并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂,在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统(支持半导体先进制程)量产的国产厂商。
其中2023 年,公司对中微公司、北方华创、盛美上海等客户首次实现销售收入。2024 年,公司对中微公司、北方华创、微导纳米的核心技术业务收入分别达4,288.56 万元、2,813.65 万元、2,306.19 万元,相比2023 年分别翻7 倍、25 倍和3 倍。2025 年1-6 月,公司进一步拓展新客户,实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破,客户结构持续多元化。
等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统,国产替代和晶圆厂扩产带来持续成长
目前在中国大陆等离子体射频电源系统市场中,海外厂商仍占据垄断地位,合计占据约89%的市场份额,海外厂商主要包括美国两大巨头MKS和AE,以及霍廷格(德国)、DAIHEN(日本)等其他厂商,国产厂商市场份额占比约11%,主要的国产厂商包括恒运昌、华丞电子、英杰电气,此外吉兆源和神州半导体也有相关业务。在中国大陆等离子体射频电源系统市场中,恒运昌的市场份额为3.8%,位列国产厂商第一位。与此同时,恒运昌产品集中于技术难度最高、应用领域最大的半导体市场, Aspen 系列产品可支持7-14 纳米先进制程工艺,并已实现对半导体设备行业头部客户的批量供货。在中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场中,恒运昌的市场份额为6.1%,亦位列国产厂商第一,在国产厂商中市场地位领先。
风险提示
研发不及预期,晶圆厂扩产进度不及预期,贸易摩擦加剧,市场竞争加剧,客户集中度较高。
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(责任编辑:郭健东 )
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