华虹半导体、积塔半导体、粤芯半导体在晶圆产线招标居前三，国产设备中标比例约51%

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国产半导体设备厂商在晶圆产线招标和中标方面持续扩张，加速提升半导体设备的国产替代份额。据统计，2023年1-10月，华虹半导体、积塔半导体、粤芯半导体的招标量居前三，设备招标以扩散、刻蚀、量测设备为主。国产设备整体中标比例约51%，其中PECVD、外延、氧化设备的国产中标比例较高。国内半导体设备厂商中标量领先的有北方华创、万业企业、中微公司等，中标比例为46%。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司，如北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微等。但需注意市场需求、研发、市场开拓等风险。