半导体设备行业动态研究：半导体零部件国产化加速 关注细分赛道领跑者

　　投资要点:
　　半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。根据IDC 预测，2024E 半导体市场规模由6259 亿美元上调至6328 亿美元，同比增长20.2%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢复增长。根据SEAJ 数据，2023Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长42.2%，随着中国大陆成熟制程持续建设，半导体设备市场有望长期稳健增长。
　　零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。半导体零部件市场规模约为设备市场规模的50%-55%，我们测算，2022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为1061 亿元。半导体零部件种类繁多，行业碎片化特征显著，目前国产化率普遍较低，晶圆扩产叠加设备国产化加速，半导体零部件国产替代空间广阔。
　　正帆科技：Gasbox 是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，我们测算，2022 年中国大陆Gasbox 市场规模超过50 亿元。2022 年公司布局Gasbox 业务，2023 年产品已经全面稳产，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox 国产替代加速。
　　汉钟精机：干式真空泵可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过18 亿元，未来五年中国大陆仅12英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为127 亿元、年均约25 亿元。目前公司真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程均有应用，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。随着台中厂三期及上海厂三期产能建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。
　　英杰电气：射频电源可用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入等半导体设备，我们测算，2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模约为44亿元。2023 年10 月起，公司射频电源订单呈现批量上升状态，目前已超9000 万元。公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，半导体电源业务有望步入快速成长期。
　　美埃科技：洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率，先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。风机过滤单元业务，公司产品性能领先、客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局，2020-2022 年海外收入CAGR 接近50%。过滤器业务，具备收入稳定、高毛利率双重优势，国内方面，公司通过持续降本、节能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率；海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。
　　投资建议半导体设备零部件国产替代空间广阔，细分赛道领先企业有望优先受益，重点关注正帆科技（gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、美埃科技（洁净装备及耗材）等，首次覆盖，给予“推荐”评级。
　　风险提示半导体市场需求恢复不及预期；半导体行业资本开支不及预期；半导体设备及零部件国产化不及预期；国外对华半导体设备限制力度变化风险；关注标的产品研发及客户验证进度不及预期；重点关注公司业绩不达预期风险。
【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

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