周一称，去年接收的两台 ASML 尖端 EUV 已投入生产，生产晶圆达 3 万片。
【周一透露，去年率先接收的两台 ASML 高数值孔径极紫外光 EUV 已投入生产】据了解，资深总工程师卡森表示，这两台尖端机器已生产了 3 万片晶圆
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