9月19日英杰电气在互动平台透露，半导体先进制程供电源与光刻机电源不同，暂无光刻机电源供应。
【英杰电气：暂无光刻机电源供应，半导体电源集中在刻蚀和薄膜沉积环节】 9月19日，英杰电气在互动平台透露，公司在半导体先进制程环节的电源供应，主要集中在刻蚀和薄膜沉积环节。 其电源主要作用是产生和控制等离子体，与光刻机电源在工艺目的和环境上差异较大，属于不同种类电源。目前，公司暂无光刻机电源供应。
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