半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：11月产线招标维持较高规模 国产中标不断突破

核心观点：
11 月合计135 项招标，以华虹/积塔/燕东为主，招标设备主要包括量测/检测/清洗等品类。根据采招网的数据，2023 年11 月，统计样本中的晶圆产线合计产生135 项招标。以华虹半导体/积塔半导体/燕东微电子等产线招标为主。招标设备主要包括量测/检测/清洗等品类。2023 年1-11 月，统计样本中的晶圆产线合计招标1607 项，其中，华虹半导体/积塔半导体/中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设备招标以量测/扩散/刻蚀设备为主。
11 月合计362 项中标，以刻蚀/清洗/气液系统设备居多，国产设备整体中标比例约42%，炉管/PVD/CVD/硅片再生设备的国产中标比例显著。中标方面，根据采招网的数据，2023 年11 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标362 台设备，以刻蚀/清洗/气液系统设备居多；国产设备整体中标比例约42%，其中，炉管/PVD/CVD/硅片再生设备的国产中标比例显著。2023 年1-11 月，统计样本中的晶圆产线合计中标875台设备，以刻蚀/测试机/气液系统设备居多；国产设备整体中标比例约47%，其中，PECVD/外延/氧化/硅片再生设备的国产中标比例较高。
11 月统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标101 台设备，以北方华创/盛美上海/中微公司中标为主，在对应工艺环节的中标比例为32%。根据采招网的数据，2023 年11 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标101 台设备，以北方华创/盛美上海/中微公司中标为主，在对应工艺环节的中标比例为32%。2023 年1-11 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标309 台设备，北方华创/中微公司/万业企业中标量领先。其中，北方华创中标主要包括刻蚀/扩散/炉管设备，分别为34/10/7 台；中微公司中标42 台刻蚀设备。万业企业中标主要包括气液系统/沉积/CVD 设备，分别为23/5/2 台。1-11 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为39%。其中，北方华创的外延/氧化、拓荆科技的PECVD 和盛美上海的硅片再生设备在对应工艺环节的中标比例领先，均为100%。
投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。
（带*标的为与广发机械联合覆盖）
风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。
【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

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