半导体设备专题研究系列二：国内积极推动成熟制程扩产 工艺控制设备迎来国产突破

　　投资要点
　　半导体设备行业逐步复苏，国内推动成熟制程扩产2024年半导体设备行业有望迎来复苏。根据SEMI预测，2023/2024年全球半导体设备行业市场规模为1009/1053亿美元，同比-6%/+4%。2022年起美日荷陆续发布对华设备出口管制措施，限制国内先进制程产能扩建，半导体设备国产化迫在眉睫。国内积极推动成熟制程产能扩产，根据TrendForce在2023年12月的预测，2023-2027年中国大陆的成熟制程产能在全球的占比将由31%增长至39%，国内主流晶圆厂均有明确扩产计划，预计国产半导体设备厂商将充分受益。
　　工艺控制设备用于保证芯片良率，价值约占半导体设备市场的12%工艺控制设备是用于检测半导体制程中加工工艺质量的质控设备。在28nm制程中约需要数百道晶圆加工工序，单道工序的误差都会影响芯片最终良率。
　　根据YOLE统计，当工序超过500道，单道工序的良率要超过99.99%，最终芯片良率才能超过95%。因此为保证晶圆加工良率，需要工艺控制设备对晶圆加工流程进行实时质量管控。工艺控制设备约占半导体设备价值量的12%。
　　则假设2023年设备价值量占比基本不变基础上，根据SEMI预测，2023年全球工艺控制设备的市场空间约为121亿美元，未来有望随行业复苏稳步增长。
　　工艺控制设备市场中KLA一家独大，国产厂商逐步突破全球工艺控制设备市场中科磊半导体（KLA）一家独大。根据VLSI Research数据，科磊半导体在工艺控制设备的市场份额占比为50.8%，TOP5市场份额合计超80%，均为美国和日本公司。过程控制设备行业的国内上市企业有精测电子、中科飞测，近年来国产设备公司已在诸多细分品类逐步取得突破：
　　1）精测电子：公司膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统和电子束缺陷检测系统等产品已能覆盖2x nm及以上制程；2）中科飞测：公司产品线已涵盖无图形/图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、晶圆介质薄膜量测设备和套刻精度量测设备等系列产品。
　　投资建议
　　建议关注：中科飞测、精测电子等。
　　风险提示
　　国际政治动荡和摩擦加剧；国内芯片产能扩产不及预期；设备国产化导入不及预期；半导体设备行业竞争格局恶化。
【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

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