8 月 2 日,日本冲绳科学技术大学院大学设计 EUV 光刻技术,降低成本并提升光刻机性能。
【8 月 2 日,日本冲绳科学技术大学院大学官网最新报告显示,该校设计出一种极紫外(EUV)光刻技术。】该校设计的光刻设备能采用更小的 EUV 光源,功耗不到传统 EUV 光刻机的十分之一。这降低了成本,并大幅提高机器的可靠性和使用寿命,超越了半导体制造业的标准界限。
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