半导体行业跟踪报告之二十三:产业政策持续加码 国产光刻机任重道远

2024-11-18 11:40:07 和讯  光大证券刘凯/黄筱茜
  光刻机:半导体制造业皇冠上的明珠。光刻机是光刻工艺的核心设备,主要由光学系统、机械系统和控制系统构成。目前市场上的光刻机主要分为g-line、i-line、KrF、ArF、EUV 五代迭代更新,五代光刻机的主要差异是光刻机的工艺节点,即限制成品所能获得的最小尺寸。在光刻机的更新迭代中,对光源、光学透镜、反射镜系统提出了越来越高的要求。根据观知海内信咨询,2020 年全球光刻机市场规模为170.9 亿美元,预计2024 年将达315 亿美元。ASML、Nikon 和Canon三分天下,ASML 垄断高端EUV 光刻机市场,Nikon、Canon 占据中低端市场。
  ASML 龙头地位显著。ASML 在10 纳米节点以下有100%的市占率,是全球唯一能够生产EUV 光刻机(极紫外光刻机)的公司,龙头地位显著。ASML2023 年营收298 亿美元,同比增长34%;GAAP 净利润84.8 亿美元,同比增长43%。
  2023 年ASML 合计销售光刻机450 台,其中EUV 销量为53 台。EUV 作为光刻机中的最先进产品,销售价格持续增长,2023 年平均售价为1.91 亿美元,同比增长2%。ASML24Q3 订单及25 年指引低于预期。
  美国产业政策不断加码。美国对华芯片产业管制政策不断加码。2024 年9 月5日,美国商务部工业和安全局(BIS)在《联邦公报》上发布了一项临时最终规则(IFR)。2024 年9 月6 日,荷兰政府发布有关浸润式 DUV 光刻设备出口的最新许可证要求,该政策与美国的出口管制要求“对齐”,ASML 将需要向荷兰政府而非美国政府申请 TWINSCAN NXT:1970i 和1980i 型号浸润式DUV 光刻系统的出口许可证。此外美国BIS 发布的IFR 升级了对量子计算、先进半导体制造、GAAFET 等相关技术的出口管制。美国众议院设立的中国问题特别委员会向半导体设备制造商——KLA、LAM、应用材料、TEL 以及ASML 发出信函,要求他们提供对中国的销售细节。信中明确要求这些公司在2024 年12 月1 日前提交包括在华前30 大客户的收入情况、对国家安全或贸易限制名单上公司的销售记录,以及任何将生产业务转移海外的计划等在内的详细信息。
  光刻机国产化任重道远。目前国内的IC 前道光刻机市场主要被ASML、Nikon和Canon 瓜分。中国大陆光刻机进口金额不断增长,2023 年ASML 在中国大陆销售额为80.1 亿美元,同比增长157.6%,ASML 为中国大陆光刻机最大的进口来源。上海微电子是大陆光刻机头部厂商,其自主研发的600 系列光刻机可批量生产90nm 工艺的芯片。但是在技术层面,上海微电子的IC 前道光刻机与国际先进水平差距仍较大,国产光刻机任重道远。
  投资建议:
  1)光刻机产业链建议关注:晶方科技、茂莱光学、旭光电子、福光股份、美埃科技;2)国产精密光学产业链建议关注:福晶科技、百傲化学、永新光学、汇成真空、波长光电、腾景科技等。
  风险分析:国产光刻机产业链研发进展不及预期;客户导入进度不及预期;国际贸易摩擦加剧。
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(责任编辑:王治强 HF013)

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